光刻技术发展史
2025-10-09
光刻技术是一种制造微电子器件的重要工艺，其发展经历了几个阶段。 20世纪60年代末至70年代初，光刻技术以光线照射硅片表面的方式开始应用于集成电路的制造。 80年代，光刻技术逐渐发展为步进式光刻机，可以实现更高的分辨率和更复杂的图案。 90年代至21世纪初，光刻技术随着纳米技术的发展进入了深紫外光刻时代，分辨率进一步提高。近年来光刻技术在三维芯片封装、纳米材料制备等领域得到了广泛应用。...
2025-10-09
光刻技术是一种制造微电子器件的重要工艺，其发展经历了几个阶段。 20世纪60年代末至70年代初，光刻技术以光线照射硅片表面的方式开始应用于集成电路的制造。 80年代，光刻技术逐渐发展为步进式光刻机，可以实现更高的分辨率和更复杂的图案。 90年代至21世纪初，光刻技术随着纳米技术的发展进入了深紫外光刻时代，分辨率进一步提高。近年来光刻技术在三维芯片封装、纳米材料制备等领域得到了广泛应用。...