我国比较先进的光刻机上市公司包括精工科技、中科院光电所、上海微电子和华大基因。 精工科技是一家专业生产光刻机的企业，产品包括紫外光源、曝光系统等核心部件。中科院光电所是中国光刻机领域的重要研发机......
