压阻式的加速度传感器有直流响应,压电式的没有直流响应,
压阻式的加速度传感器没有电荷累计效应,压电式的有电荷累计效应,具体说,对于连续的高频冲击,电荷累计效应使得压电加速度传感器不能连续响应,输出饱和。
压阻式加速度传感器量程可到20wg,压电式的最多10wg吧;
压阻式加速度传感器是采用硅片上MEMS加工工艺,压电式的加速度传感器采用压电晶体,属于传统的加工工艺;
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