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离子泵的原理

发布时间:2025-10-08 | 来源:互联网转载和整理

离子泵的工作原理,在2个平面阴极之间是一个蜂窝状的阳极结构。所加磁场垂直于阴极板,并平行于蜂房的轴。电子围绕磁力线作螺旋运动,使气体分子电离,电离产生的电子接着使其它气体分子电离。在碰撞过程中,电子交出能量,并逐渐向阳极移动。正离子则加速向由钛制成的负极移动。离子与钛互作用,至少发生3种抽气作用。

离子泵

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