PR 是FAB工艺中曝光使用的光刻胶简称全称是Photoresist,其实在半导体行业都是需要光刻的,PR是光刻胶的统称 有很多种,成分也不一样,性质也各有区别,分为正向光刻胶 负向光刻胶。
就是负性光刻胶,受特定波长的光线照射后这种类型的光刻胶会变性硬化,显影时显影液会把其他未受光照的部分洗掉,从而把mask上的pattern投射到glass上
PR 是FAB工艺中曝光使用的光刻胶简称全称是Photoresist,其实在半导体行业都是需要光刻的,PR是光刻胶的统称 有很多种,成分也不一样,性质也各有区别,分为正向光刻胶 负向光刻胶。
就是负性光刻胶,受特定波长的光线照射后这种类型的光刻胶会变性硬化,显影时显影液会把其他未受光照的部分洗掉,从而把mask上的pattern投射到glass上
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